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Markteinführung der nächsten Generation der Massendurchflussregler der GF100-Reihe von Celerity für die Halbleiterchip- und Solarzellenherstellung

San Jose, Kalifornien (ots/PRNewswire)

- Die MFCs der GF100-Reihe bieten eine nahtlose, RoHS-konforme
Aufrüstmöglichkeit mit verbesserter Qualität, höherer Zuverlässigkeit
und niedrigeren Gesamtbetriebskosten
Celerity, Inc., bei Präzisionsinstrumenten und hochentwickelten
Gas- und Flüssigkeits-Regellösungen für die globale Halbleiter-,
Solarzellen- und Elektronikbranche technologisch führend, gab heute
die Markteinführung der Massendurchflussregler (MFC) der GF100-Reihe
bekannt, die speziell auf die präzise Messung, Überwachung und
Regelung hochreiner Prozessgas-Chemie bei Halbleiterchip- und
Solarzellenherstellungsverfahren ausgerichtet sind. Die MFCs der
neuen GF100-Reihe von Celerity bieten eine in hohem Masse
konfigurierbare Plattform und sind mit Celeritys hauseigener, gegen
Druckschwankungen unempfindlichen Durchflusstechnologie der zweiten
Generation ausgestattet, die die Prozesssteuerung verbessert, die
Gesamtbetriebskosten verringert und eine komplexe Lagerhaltung
erübrigt.
Die Massendurchflussregler der neuen GF100-Produktreihe von
Celerity bieten eine ganze Reihe entscheidender Vorteile, u. a. hohe
Genauigkeit, reproduzierbare Gasmessungen, Steuerung über eine
moderne, digitale Architektur, elektronische Vor-Ort-Umkonfigurierung
des Gas- und Durchflussbereichs für maximale Prozessflexibilität und
-optimierung, druckschwankungsunempfindliche Konzeption des
Durchflussverfahrens (ermöglicht beträchtliche Kosten- und
Grösseneinsparungen bei den Hochreingas-Versorgungssystemen) und
integrierte, intelligente Diagnose, Wartungsanschluss und Software
für die einfache und effiziente Wartung ohne Abrüsten des Werkzeugs.
"Celerity ist Marktführer bei hochentwickelten, digitalen
ultrahochreinen Massendurchflussreglern und in der Branche ein
Vorreiter bei druckschwankungsunempfindlichen MFCs. Dank unserer
umfassenden Erfahrung in der Gas-Durchflussregelung, stellt die
GF100-Reihe ein kontinuierliche Prozessverbesserung (CPI) unserer
marktführender Präzisions-Massendurchflussregler dar und bietet dem
Kunden eine nahtlose, RoHS-konforme Aktualisierung mit verbesserter
Prozesssteuerung und niedrigeren Gesamtbetriebskosten", sagte David
Somo, Senior Vice President Vertrieb und Marketing bei Celerity.
Informationen zu Celerity
Celerity ist beim Entwurf, bei der Entwicklung und Fertigung von
Präzisionsinstrumenten und hochentwickelten Gas- und
Flüssigkeits-Regellösungen, wie sie als integraler Bestandteil von
Anlagen zur Fertigung von Halbleitern, Flachbildschirmen, Solarzellen
und ähnlichen Produkten zum Einsatz kommen, technologisch führend.
Celerity ist in San Jose, Kalifornien, ansässig, beschäftigt weltweit
ca. 800 Mitarbeiter und befindet sich in Privatbesitz, wobei Texas
Pacific Group eine Mehrheitsbeteiligung hält. Weitergehende
Informationen stehen unter http://www.celerity.net zur Verfügung.

Pressekontakt:

Anfragen aus der Fachpresse: David Somo, Tel.: +1-408-935-4500,
E-Mail: dsomo@celerity.net bzw. Anfragen aus der Finanzpresse und von
Investoren: Ron Lacey, Tel.: +1-408-935-4500, E-Mail:
rlacey@celerity.net, beide von Celerity, Inc.

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